ИСТОЧНИКИ ПРИМЕСЕЙ ДЛЯ ДИФФУЗИОННОГО ЛЕГИРОВАНИЯ КРЕМНИЯ И ТЕХНОЛОГИЯ ДИФФУЗИИ ПРИМЕСЕЙ В КРЕМНИЙ
Источники для диффузии фосфора
Жидкие источники
Газообразные источники
Твердые источники
Стеклообразные диффузанты
Легированные окислы
Приготовление пленкообразующих растворов, их нанесение и термодеструкция
Диффузия бора и фосфора в кремний из пленок двуокиси кремния, полученных из пленкообразующих растворов
Диффузия в запаянной и откачанной кварцевой ампуле
Метод открытой трубы
Диффузия в замкнутом объеме (бокс-метод)
Стимулированная диффузия
РАЗРАБОТКА ТЕХНОЛОГИИ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИСТОЧНИКОВ ДИФФУЗИОННОГО ЛЕГИРОВАНИЯ КРЕМНИЯ БОРОМ И ФОСФОРОМ И ИХ ИССЛЕДОВАНИЕ
Разработка и испытание поверхностного источника фосфора на основе спиртового раствора ортофосфорной кислоты
Исследование твердого планарного источника на основе нитрида бора
Разработка и испытание источника на основе легированного окисла
Изготовление кремниевого СЭ на основе кремния p-типа
ОХРАНА ТРУДА
Техника безопасности при работе с химическими веществами
Оздоровление воздушной среды
Навигация
Техника безопасности при работе с химическими веществами
Разработка источников диффузионного легирования для производства кремниевых солнечных элементов
152301
знак
14
таблиц
18
изображений
5.4. Техника безопасности при работе с химическими веществами
При выполнении дипломной работы приходилось работать с различными химическими реактивами.
Во время работы в химической лаборатории необходимо соблюдать следующие мероприятия:
- не пробовать на вкус химические вещества;
- на операциях, где выделяются вредные вещества, работу производить только при включенной вентиляции;
- использовать при работе специальную одежду;
- не хранить, не принимать пищу в рабочих помещениях.
Хранение химических веществ должно производиться с учетом их свойств и правил совместного хранения. Общая вентиляция должна включаться за 15 – 20 минут до начала работы и выключаться за 20 – 30 минут до окончания рабочего дня. Вытяжное устройство рассчитывается так, чтобы скорость всасывания воздуха в сечении открытых дверцах шкафа была в пределах 0,5 – 0,7 м/с, а при работе с особо вредными веществами до 1 – 1,5 м/с.
В работе из кислот используются плавиковая, азотная и фосфорная кислоты. При попадании на кожу они могут вызвать ожог, поэтому операции с использованием этих кислот необходимо проводить в резиновых перчатках. Переливать кислоты из бутылки неосходимо используя качалки, сифоны и другие приспособления, предотвращающие разбрызгивание их. Пролитые на пол кислоты или другие химические растворы следует немедленно нейтрализовать специальным раствором и при уборке использовать опилки.
Безопасная работа с органическими растворителями, кислотами, щелочами включает:
1. При использовании давления оно не должно превышать 0,2 атмосферы.
2. Бутылки с кислотами и щелочами должны находиться в исправных корзинах, устланых соломой или другими материалами (стружка), пропитанных раствором хлористого кальция.
3. Фтористоводородная (плавиковая) кислота разъедает стекло, поэтому должна храниться в парафиновых или эбонитовых сосудах.
Безопасная работа с легко воспламеняющимися жидкостями (ЛВЖ):
1. Все операции с ЛВЖ должны производиться с малым количеством в вытяжных шкафах.
2. Для нагрева ЛВЖ следует применять закрытые электронагревательные приборы.
3. При случайных проливах ЛВЖ необходимо выключать нагревательные приборы, место пролива засыпать песком.
4. В случае воспламенения горючей жидкости необходимо:
а) немедленно выключить вентиляцию и нагревательные приборы;
б) вынести из помещения все сосуды с огнеопасными веществами;
в) применить наиболее эффективные средства тушения, руководствуясь противопожарной инструкцией.
5. Запрещается выливать в канализацию горючие жидкости, не смешивающиеся с водой, так как они легче воды и образуют на поверхности пленку.
5.5. Освещенность рабочего места
Правильно спроектированное и выполненное производственное освещение улучшает условия зрительной работы, снижает утомляемость, способствует безопасности труда, снижает травматизм.
В лаборатории технологии полупроводниковых приборов, где выполняется экспериментальная часть дипломного проекта, имеет место совмещенное освещение, которое состоит из естественного бокового и искуственного (представленного газоразрядными лампами). Искуственное освещение имеет равномерный и локализованный характер.
Исходя из выполняемой работы помещения полупроводникового производства согласно СНиП П-4-49 относятся к помещениям с высокой точностью – объект различения 0,3 – 0,5 мм.
Непостоянство – большой недостаток естественного освещения. Величина естественного освещения зависит от времени года, времени суток и технологических условий. Естественное освещение характеризуется отвлеченной величиной – коэффициентом естественной освещенности (КЕО), равным отношению освещенности точки внутри помещения к одновременной наружной горизонтальной освещенности, создаваемой рассеянным светом полностью открытого небосвода, в процентах:
l=(Eвн/Eнар)∙100 (5.8)
Нормированное значение КЕО для зданий, располагаемых в I, II, IV и V поясах светового климата, в зависимости от характеристик зрительных работ, системы и вида освещения определяется согласно СНиП II-4-79 по формуле [19]:
lнI,II,IV,V=lнIII∙m∙C, (5.9)
где lнIII - значения КЕО для зданий, располагаемых в I, II, IV и V полосах светового климата; m - коэффициент светового климата; С - коэффициент солнечного климата.
По данным таблиц [20] определяем, что Херсонская область принадлежит к IV поясу светового климата, lнIII=3 %, m=0,9, C=0,85 (при зрительной работе, относящейся к III категории). Подставляя значения в (5.9) получим:
lнIV=3∙0,9∙0,85=2,3 %
При боковом естественном освещении нормируется минимальное значение КЕО lmin. Для III категории зрительных работ lmin=2,0 [20].
Следует отметить, что зрительные работы, которые проводятся в вытяжных шкафах, относятся согласно СНиП П-4-79 к I группе.
Похожие работы
... к ним вызван экологическими соображениями, с одной стороны, и ограниченностью традиционных земных ресурсов — с другой. Особое место среди альтернативных и возобновляемых источников энергии занимают фотоэлектрические преобразователи солнечной энергии, изучение которых превратилось в отдельное научное направление – фотовольтаику. Однако высокая стоимость солнечных элементов до недавнего времени ...
... голоса, слушают пение птиц, плеск волн и шум ветра, дышат свежим воздухом. Воспользоваться таким транспортом захочет каждый, кто любит совершать водные путешествия. 6. РОССИЯ, УКРАИНА И СОЛНЕЧНАЯ ЭНЕРГЕТИКА В России в настоящее время имеется восемь предприятий, имеющих технологии и производственные мощности для изготовления 2 МВт солнечных элементов и модулей в год. В 1992 году на ...
... подавляет в кремнии генерацию термодоноров, вводимых в кремний в температурном интервале 400-500 оС. Выводы Сплавы Si1-xGex в настоящее время являются тем материалом, который желательно возможно быстрее освоить в производстве. Их достаточно предсказуемые свойства позволяют получать монокристаллы с заданными параметрами путём аппроксимации зависимости свойств от состава (зависимости ...
... . ПРИМЕНЕНИЕ ИОННОГО ЛЕГИРОВАНИЯ В ТЕХНОЛОГИИ СБИС Создание мелких переходов Требование формирования n+ слоев, залегающих на небольшой глубине, для СБИС можно легко удовлетворить с помощью процесса ионной имплантации Аs. Мышьяк имеет очень малую длину проецированного пробега (30 нм) при проведении обычной имплантации с энергией ионов 50 кэВ. Одной из прогрессивных тенденций развитии ...
0 комментариев